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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

该项目图片背景 某特大型半导体行业制做客户地处长四角东南部,主耍生育晶圆和集成ic。在生育的时候中,晶圆激光切和抛光加工处理阶段中,发生大批研磨抛光液污废水 ,平均排放出出量约50吨。伴随污废水 中富含高密度自动隐藏物、重金属亚铁离子及可挥发填加剂,一直排放出出会对周围环境导致情况严重弄脏,客户紧缺鑫霖环保专业课程加工处理公用设施。 生产废水因素及来源于 考虑液污水核心一般来在于晶圆制作加工中的化学式机械性增加光泽(CMP)多种工序,核心被污染源还有: 浮动小粒物 :二防氧化的硅、防氧化的铝等机磨粉末,比表面积在0.1-1μm,浓度值高达mg2000mg/L。 合金阳离子 :铜、铁、锌等,基cnc精密机械加工垫磨花及晶圆接触面不锈钢层,铜铝离子密度约50mg/L。 生产插入剂 :包扩表面上活力剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱平衡性产品 :pH值起伏较大大,一般而言在2-11内。 办理工艺技术步骤 真对废污水的特点,应用“前正确处理+生物化学+长度正确处理”搭配工艺设计: 调节器池 :稳定水环境容量,使用腐蚀性上下调整pH至碱性。 沥青混凝土沉定 :污泥脱水PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),彻底清除浮动物和固体,沉降后SS彻底清除率>90%。 催化剂的作用腐蚀 :按照Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发有机化学增多剂,COD除掉率达60%。 生物工程补救 :MBR膜动物作用器进这一步可降解剩下的生产物,COD降为100mg/L下面的。 阳离子互转 :专业树脂材料粘附铜阳离子,喷水铜含锌量<0.5mg/L。 砂滤+活性酶炭过滤装置 :抓实满水后清澈见底,可达到《工业废水全方位的排放出标淮》(GB8978-1996)3级标淮。 不可能成效 程序加载安稳后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。 循环率达40%,剩余时间符合标准尾气排出标准,年降低废水处理方法尾气排出标准1.6万吨。 外理成本低约15元/吨,远达不到市场分別。

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