半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
创业项目时代背景
该中小型中小型品牌为世界各国更优的半导体基带芯片测封中小型中小型品牌,最靠近珠江三角洲形位置,常见对其进行高档次基带芯片的小学划片和封装类型公测。在本地环境保护规定要求非常严格,中小型中小型品牌确定颁布生产废水零污染物水利。工程项目于2025年开始,2025年6月开建投建,办理成本规模为200吨/日,总成本约200070万。
废水处理工艺有效成分及种类
某项意义小学划片生产废水具备下述特征 :
高氧溶液浓度氟化物,最主要源于晶圆分割后的洗掉道工序,氟亚铁离子氧溶液浓度高达mg150-200mg/L
含有纳米级级硅粉粉末,颗粒直径多在100-500nm直接
有机肥料强度较高,COD在500-800mg/L
所含少量天价属如铅、镉等
纯水电导率高,经常在2000-3000μS/cm
除理工艺技术标准流程
为变现零废气排放关键,生产工艺定制突出采取污水的分类持续和网络资源二手回收:
废水处理工艺的分类处理系统化
:将含氟废气与别的废气分开单独进行收集整理
化学上沉淀自己除氟
:按照多级钙盐析出法,紧密配合提高效率析出池
层级硫化操作
:臭氧老化崔化阳极氧化降解塑料难除理生物碳物
膜浓缩造成体系
:进行DTRO碟管式反融入,沉淀因数为10倍
减压蒸馏沉淀
:MVR机蒸汽式再降低挥发器进行处理浓水
粗糙操作系统
:将心得盐缺水后做为产业副食品外售
正确处理治疗效果
设备作业数据提示提示:
氟化物出掉率>99.9%,溢水氟阳离子<1mg/L
COD总避开率>98%,出水出水COD<20mg/L
水信息利用率>95%,仅带来少量出晶粒盐
第年可出售优秀保证回收利用水约6万吨
凝结盐溶解度以达到化学工业级规定,改变資源化根据
品牌既保证 了废水处理零尾气排放标准,还顺利通过资源量再利用开创了约80上万元/年的双倍年化收益。