该晶圆手工分娩厂建在苏北地区划分,包括分娩8寸大光电器件晶圆,每日废水处理工艺减排物量约800吨。根据分娩方式中便用更多氢佛酸开始晶圆蚀刻,会导致废水处理工艺中氟化物含量自由高达200-300mg/L,远超国度减排物标准化(10mg/L一些)。
污废水 化学物质及来历
生产废水大部分来源于这三个部分:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高盐浓度氟化物(HF)、氯化铵及多量高价属
无机化学机戒镜面抛光(CMP)工业废水
:含納米级硅颗粒肥料、设计络合剂
设施设备的清洗污废水
:含异丙醇、氟化物等卤素元素物
处里制作工艺具体步骤
进行"物理滤渣+沥青混凝土滤渣+广度净化"三级视频治疗系统软件:
一层解决
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,建立氟化钙析出,氟化物洗去率达85%
2级外理
:增添PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),出掉电解质溶液态环境破坏物
三类处理
:根据多媒介滤出器和特异性炭物理吸附,有水出氟化物浓硫酸浓度相对稳定在8mg/L下述
重点机具有:pH自动的调结设计、斜管悠长岁月中池、板框淤泥压滤机(淤泥脱水情况)。
终于治疗效果
新项目电脑运行五年期数据表格数据监测表格体现 :
氟化物月均浓度值:7.2mg/L(最低地方基准)
COD的还原率:92%
厌氧颗粒污泥水分含量率:≤65%
年二手回收氟化钙副软件约150吨,变现教育秸秆综合采取采取