该厂为8厘米晶圆产量线模块化的超蒸馏水系统，一整天产生含硅废水解决的工艺150吨。废水解决的工艺中虽无高价属，但硅含碳量高易水垢，且热敏电阻率需完成18MΩ·cm性能循环。现有解决的工艺无非充分满足新公布的《智能电子重工业水污染问题物废气环保排污标准规范》（GB39731-2020）特殊废气排污最大限度。 污水部分特征 一般弄脏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度0.1-1μm） 专项 耍求 ：TOC<10μg/L，硼含量的<5μg/L 饮用水基本特性 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅类化合物价值形式麻烦 正确处理新工艺方案 企业创新采用了"梯级膜提取+电去铝离子"组成加工制作工艺 ： 微滤预操作 ：1μm工业陶瓷膜截拦大颗粒剂硅，通量稳定80LMH 化合物交換树脂材料 ：D201大孔硅胶粘合剂选定 性吸附剂硅酸大分子 三级RO系统化 ：第一点段二手回加标回收率60%，二是段选取高脱硼膜元器件 EDI电去阴离子 ：电流值强度2A/m²，持续保持我们要除稳定度化合物 紫外线杀菌消毒 ：254nmUVUV线标准容量40mJ/cm² 技艺闪光点 设计专门用阻硅剂（有机的胺类组合物），推迟膜环保问题定期3倍 EDI引擎革新流道设定，硅的还原率增加至99.8% 线下硅阐述仪（检测的范畴0.1-500μg/L）保持精准度调节 开机运行阶段性成果 经其次方检侧： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼分子量从8μg/L调至0.3μg/L 模式回收分类处理率从原40%提高自己至68% 膜换个时间段提高至5年，年启用成本预算大幅度降低35%