某光电器件心片制造技术厂在晶圆加工进行处理历程中，运用硅烷实现硅概念种植，尾气排放洗衣塔生产高含磷量含硅电镀废水进行处理做法。电镀废水进行处理做法具pH下降大（2-11）、硅含磷量高的基本特征，传统式进行处理做法易出显硅垢闭塞问題。 生产废水的成分及原因 废水处理方法其主要因素为： 溶水性硅酸盐 ：SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L 氢氧化物钾/氢氧化物钠 ：洗滌剂塔酸性洗滌剂液留下 科粒硅 ：奈米级SiO₂悬浊液 痕量砷 ：原科杂质残渣带进 处里加工制作工艺 程序 革新用于"两极结合+膜过滤清洁+蒸发掉结晶体"施工工艺： 考试内容一级与 ：用CaO调低pH至4-5，转成硅酸钙沉淀自己，硅彻底清除率60%。 2级采和 ：加Na₂CO₃将pH升级至9，进那步积淀剩的硅，并接用镁剂除砷。 反渗透装置系统软件 ：0.02μm瓷砖膜过滤水nm级硅颗粒物，通量安全在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：浓缩造成高盐污水，晶粒出Na₂SO₄副厂品，水造纸废水处理率超90%。 结果是效果好 总硅从1500mg/L下降5mg/L以內 砷水分含量从0.8mg/L减至0.01mg/L 操作系统无水垢工作高出2年 年回笼氢氧化钠钠纳米线约800吨