佛山某半导体材料心片生产厂，晶圆生产制作操作过程中行成含硅、氟的特别的污水，设计构思解决数量1200吨/日。污水的成分简化，有效納米级硅粒状及氢氧化钠，过去的解决方案难易达到。 污废水 组成成分及收入 核心严重污物 ：氢氧化铁硅（100-500nm比表面积）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 渠道工作 ：晶圆刻蚀焦化废气（45%）、CMP化工机械制造打磨抛光焦化废气（40%）、机洗水（15%） 正确处理加工过程方案 革新适用"普通机械沉垫+持种膜拆分"技木的路线： 钙盐乳浊液 ：污泥脱水氯化钙避开氟亚铁离子（合成CaF2积累） 斜板沉淀池发生反应 ：结合二沉池剂确保氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜挤占微细小粒 反加入系统 ：脱盐率>98%，收售率75% 挥发晶粒 ：浓水段保证氟化物零摆放 最中疗效 氟化物溶度：<8mg/L（降至祖国4级标准化10mg/L） 硅水平：<5mg/L 水成本回收率：70%代替放凉塔补充水分 垃圾减轻药量：蒸发掉残留物量较传统文化新工艺少60%