半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
项目流程背景图
该制造业园积聚了十余家半导体设备有关于行业,设计日加工工作能力5000吨,必须要加工来于的不同行业的混合着化工生活污水。根据各行业生孩子工艺流程不同之处大,化工生活污水物质很复杂机动,加工一定的难度较高。
废水处理工艺化学成分及源于
废气首要收录两大类:高硫化还原电位充分化学废气(光刻胶、成像液等)、含氟废气(刻蚀制作工艺)和耐酸碱废气(洗掉制作工艺)。特种组成成分收录异丙醇、四甲基氢硫化铵等难化学降解充分化学物,各类氟化物、挥发酚等硅酸水污染。废气COD价格波动大(500-3000mg/L),氟化物硫化还原电位100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
除理生产工艺图流程图
选取"归类提取+分质治理+集中化的深度治理"的转型升级方法:
机构内部结构几大类预外理:含氟生产废水随便收集整理并预外理
开发区管道总类气流输送程序
合理调接池均衡性污水水质
有级水泥混凝土沉积快速清理浮动物和固体
高效益生物技术不起作用器(HBR)操作有机质破坏物
老化催化空气氧化空气氧化生物降解难拆解巧妙物
超滤到控制系统使用脱盐操作
紫外线,线清洁确保平安出水量平安
独特设备了在线平台监测模式模式和重新投加模式,解决水体价格波动。
结果是郊果
体系正常运作十年来,加工体验稳定性信得过。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,实现河流Ⅳ类标准的,区域中水中水回用于产业园园林景观及冷去塔保湿,中水中水回用率已经超过30%。年年降低生鲜水运用约5万吨,为产业园中小企业减少有水费数千来万。